主要用途：


激光封焊手套箱用于微组装模块的气密封装。微组装由于使用到裸芯片封装，微互连的引脚也暴露在外，所以大多需要对组装模块进行气密封装。激光封焊是目前一种新型密封方式，他的适用性强，密封效果好。手套箱可以实现密封前的预烘，保证密封件内部的水氧含量满足各类标准的要求。


性能指标：


1）5W 至450W平均功率


2）激光波长: 1064nm


3）峰值功率10KW


4）脉冲时间0.2到150ms


5）输出稳定性: ±3%


6）光纤内径为400µm或600µm


7）工作台行程：XY轴200200mm ，Z轴100mm


8）工作台定位精度：20µm，重复精度5µm


9）手套箱内环境：氧含量优于1ppm，水含量优于1ppm